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其实他,做梦都想相信周硕说的是真的啊!只不过这怎么可能?从大。跃。进和嗡嗡嗡一路走过来的赵院长,直觉上根本不相信这个可能。
周硕见他沉默不语,微微一笑伸手向前道:“究竟能不能,还请赵院长和诸位领导,自己用眼睛去证实吧。”
赵院长看着满脸自信的周硕,脚步不自觉的就跟在他的后面,向蜂巢里走了进去。
因为蜂巢在设计的时候,并没有考虑到会有这么多人进入。内部停车场只能提供有限的停车位,众人也就只好用11路走的进去了。
好在隧道不长、又是下坡,走起来不那么费力。对技术宅出身的院所领导们,倒也不是什么太大的负担。为了迎接这些人的到来,周硕还特意从其他实验室调来了一批无尘服。这些中小科研院所的领导,平常进实验室带个口罩穿个防护服都已经很不错了。还真是极少见到条件达到1k级别的无尘室,对自带呼吸机的无尘服啧啧赞叹不已。
足足六七十人穿好无尘服,看起来倒是颇为壮观。如果忘了这里是1995年的蜂巢实验室,周硕几乎以为自己回到了2014年的某个重点实验室。
以蜂巢的硬件水平,若非是私人投资,评个国家重点实验室是毫无问题的。
通过繁琐的除尘通道,花了不少时间才让一众人等都进入了蜂巢实验室。本来不大的地下试验室,这下立刻显得拥挤了起来。
“赵院长!您……怎么在这里?”麻友公看到带头的人愣了愣,下意识的喊了一声。
作为0。5微米工艺光刻机光源和照准系统的负责人,麻友公是丝毫不知道外面因为他已经闹到了什么程度。周硕自然也不可能给这些人以额外的压力,毕竟即使有详细的试验设计规划,想要在一个月时间里完成沉浸式光刻机的改造,也是非常困难的事情。
不光是麻友公,十四个蜂巢实验室研究员,全员都已经一个月没有回家了。虽然有保密的需要,但实验进度压力大,也是重要的因素之一。
周硕甚至专门为他们的家里加急安装了电话,有孩子和老人的,安排专人对其家人进行生活上的照顾。早上送早餐、晚上送蔬菜鱼肉,孩子上学也有车接车送。当然只有老婆的,虽然不怎么方便也派人去照顾,但每天下班专车接送过来相聚一段时间还是没有问题的。
相对于他们节省时间创造的价值来说,周硕这点付出简直微不足道。但对于这些研究员来说,却已经是暖到心窝里的待遇了。
赵院长见到麻友公,立时便吹胡子瞪眼道:“你还认我这个院子啊?所里培养你二十年,你就这么回报我和所里的?你有没有点良心?”
“院长,我……”麻友公羞愧的低下了头,叹道:“我也是没有办法,我老婆工厂待岗,一个月只开一百八十三块五。可是孩子正在上高中,眼看还要考大学。我父母今年六十多岁,身体也不好了。可工厂改制卖给了个人,退休金都不知道找谁去要。我在所里呆了二十年,却只评了一个助研,一个月八百块钱死工资。”
麻友公一米八的大块头,说着说着却哭了起来:“院长,我对不起您,对不起您的培养啊!可我,我也有家有老,要过日子……”
麻友公这一番话,说的赵院长竟是无言以对。他摇了摇头,落寞的说道:“国家现在经济上困难,咱们科研工作者难道不能克服一下?以前是所里对不住你,你回来吧。只要回来,立刻给你升职称!只有光电所,才是你能一展所长的地方啊。这什么泛翰研究院,就是一私人企业的草台班子,你这一身学问不觉得委屈了?”
这也是赵院长唯一能拿出来的东西了,即使只是升职称,对他来说也是按下了所里多少葫芦瓢,才拿出来的一点实惠。别看他堂堂光电所的一把手,却既无人事权也无财权。不然麻友公作为他看中的关门弟子,又怎么会在助研的位置上蹉跎这么多年?这次也是硬顶着所里的舆论,发扬了一把手的野蛮作风,又许出去多少空头支票,才得到了这样的条件。
“院长,您错了!”麻友公固执的摇了摇头说道:“泛翰研究院也是中国人的科研机构,在这里我不仅不觉得委屈,反而比在光电所充实多了。这里我不需要担心和领导的人际关系,不用担心吃喝住用行,更不用担心没有科研项目!”
麻友公双眼明亮的看着赵院长,狂热的说道:“院长您一定不相信,泛翰研究院在这一个月时间里,究竟取得了什么样的成就!”
赵院长“哦”了一声,心中隐隐有种预感问道:“这里一个私人研究机构,难道还能出什么大成果?”
麻友公有些手舞足蹈的叫道:“当然有,这绝对会是改变世界的一项技术!”
他指着实验室正中的一套光刻机说道:“我们实现了光刻机0。8微米工艺向0。5微米的突破!”
“这不可能!”赵院长一脸震惊的看着麻友公,嘴里虽然说着不可能,身体却很诚实的跑了过去。
作为麻友公的老领导,他太了解自己这个手下了。麻友公能够入他的法眼,一个最重要的原因就是他的踏实。谁说泛翰研究院实现了工艺技术突破,赵院长都可能不相信。但这句话从麻友公嘴里说出来,他却已经先天就信了一大半。
第二百七十五章检验
中科院微电子中心出产的0。8微米工艺光刻机,其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手,赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼,他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心,才完成了0。8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着,一共也没有生产出多少来。没办法,中科院当幕后老板,国内最有可能向这方面发展的梦幻集团,都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程,否则根本没有哪个单位吃饱了撑的,会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率,不光是九十年代,哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产,但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线,也不要他的国产货。
在光刻机上面,为何神奇的兔子能造就白菜定律,却偏偏不起作用了?这一点也不奇怪,因为一是核心设备没掌握,尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去,产品便宜的再多架不住生产成本高。
当然,魔都微电子不管怎么说,总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜,但也明白国产光刻机不行,不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角,而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何,这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神。自然也就温柔了许多。
“这套设备说起来,还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边。感慨的说道:“院子,不论泛翰研究院的水平如何。起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说,也不应该对他们太过苛求了。”
“哼,你现在是人家的工人了,当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0。5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”
“我们改进了……”麻友公开了个头,突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼。看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以说,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门,但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个。心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司,当然不可能让人敞开了看。
就在这时。光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张200mm直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是!”赵院长哪里会不知道这是怎么回事。光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶。应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机,就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人。除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0。5微米工艺,答案就在这一刻了。
“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0。5微米工艺技术,大家此时此刻可以拭目以待了!这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆,心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0。5微米工艺。
问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平,0。5微米的线宽,一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼,微微叹了口气。他站出来,自报奋勇道:“周先生,我来对这张晶圆进行测量,没有问题吧?”
周硕呵呵笑着,将晶圆郑重的交到赵院长手里,点头说道:“能够有赵院长亲手测量,这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位,没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长小心的将晶圆接了过来,摇头道:“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去?要按照我的说法,你至少应该在我们所有人的面前,再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿,嗤之以鼻道:“前些年社会上还流行过水变油的闹剧,搞起这种夸张的科学技术来,向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长,摇头说道:“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的,赵院长一看便知。”
赵院长不置可否,他呛上这两句语